سیستمهای سایبر-فیزیکی ترکیبی از فضای سایبری و فرآیندهای فیزیکی هسنند که در آنها سیستمها و فرآیندهای فیزیکی توسط بخش سایبری نظارت و مدیریت میشود. هدف از ورود بخش سایبر به دنیای فیزیکی افزایش انعطافپذیری و بهبود کارایی سیستمهاست. امروزه این سیستمها در زیرساختهای حیاتی نقش کلیدی دارند. این پیشرفت از طرف دیگر این سیستمها را در معرض مخاطرات امنیتی جدّی قرار داده است که پیش از این وجود نداشتهاند. بنابراین پرداختن به امنیت و قابلیت اطمینان این سیستمها بسیار ضروری است. در این مقاله، روشی برای مدلسازی و ارزیابی قابلیت اطمینان سیستمهای سایبر-فیزیکی در برابر حملات امنیتی ارائه شده است. در این روش رفتار مهاجم در نفوذ و حمله به سیستم به همراه رفتار سیستم با در نظر گرفتن اقدامات دفاعی مانند استفاده از مؤلفههای افزونه و راهبردهای تشخیص نفوذ مدلسازی شده است. ارزیابی کمّی قابلیت اطمینان با استفاده از سنجههای دسترسپذیری و میانگین زمان تا خرابی سیستم انجام شده است. نهایتاً در یک مثال، کاربردپذیری روش پیشنهادی نشان داده شده است.